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마이크로파 플라즈마 CVD 방법으로 Si, inconel 600 및 steel 모재위에 증착된 다이아몬드 박막의 증착특성 = (The)deposition characteristics of the diamond films deposited on Si, inconel 600 and steel by microwave plasma CVD method
표제/저자사항 마이크로파 플라즈마 CVD 방법으로 Si, inconel 600 및 steel 모재위에 증착된 다이아몬드 박막의 증착특성 = (The)deposition characteristics of the diamond films deposited on Si, inconel 600 and steel by microwave plasma CVD method / 김현호, 김흥회, 이원종
형태사항 p. 133-141; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 28권 3호(1995년 6월), p. 133-141 28:3<133 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 김현호, 한국과학기술원 재료공학과
저자: 김흥회, 한국원자력연구소 표면개질기술개발그룹
저자: 이원종, 한국과학기술원 재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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