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5, 100 mtorr의 증착압력에서 스퍼터 증착한 구리박막층의 Cu / Cr 박막과 폴리이미드 사이의 접착력에 미치는 영향 = (The)effect of Cu thin films sputter deposited at 5 and 100 mtorr on the adhesion between Cu / Cr film and polyimide
표제/저자사항 5, 100 mtorr의 증착압력에서 스퍼터 증착한 구리박막층의 Cu / Cr 박막과 폴리이미드 사이의 접착력에 미치는 영향 = (The)effect of Cu thin films sputter deposited at 5 and 100 mtorr on the adhesion between Cu / Cr film and polyimide / 조철호, 김영호
형태사항 p. 157-162; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 29권 3호(1996년 6월), p. 157-162 29:3<157 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 조철호, 한양대학교 재료공학과
저자: 김영호, 한양대학교 재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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