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자장의 배열 및 형태가 유도결합형 플라즈마에 미치는 효과에 관한 연구 = (A)study on the effects of variously configured magnets on the characteristics of inductively coupled plasma
표제/저자사항 자장의 배열 및 형태가 유도결합형 플라즈마에 미치는 효과에 관한 연구 = (A)study on the effects of variously configured magnets on the characteristics of inductively coupled plasma / 황순원, 이영준, 유지범, 이재찬, 염근영
형태사항 p. 513-520; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 32권 4호(1999년 8월), p. 513-520 32:4<513 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 황순원, 성균관대학교 재료공학과
저자: 이영준, 성균관대학교 재료공학과
저자: 유지범, 성균관대학교 재료공학과
저자: 이재찬, 성균관대학교 재료공학과
저자: 염근영, 성균관대학교 재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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