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아크 이온 플레이팅법에 의해 증착된 TiN과 TiAlN 박막의 기계적 특성 비교 = (A)comparative study on mechanical properties of TiN and TiAlN films prepared by arc ion plating technique
표제/저자사항 아크 이온 플레이팅법에 의해 증착된 TiN과 TiAlN 박막의 기계적 특성 비교 = (A)comparative study on mechanical properties of TiN and TiAlN films prepared by arc ion plating technique / 윤석영, 이윤복, 김광호
형태사항 p. 199-205; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 35권 4호(2002년 8월), p. 199-205 35:4<199 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 윤석영, 부산대학교 공과대학 재료공학부
저자: 이윤복, 부산대학교 공과대학 재료공학부
저자: 김광호, 부산대학교 공과대학 재료공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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