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고밀도 환경을 요하는 반도체 공장에서의 미진동 해석에 관한 연구 = (A)study on the micro-vibration analysis which need high precision condition in semi-conductor factory
표제/저자사항
고밀도 환경을 요하는 반도체 공장에서의 미진동 해석에 관한 연구 = (A)study on the micro-vibration analysis which need high precision condition in semi-conductor factory / 오재응, 김동규
형태사항
p. 37-52; 26 cm
주기사항
수록자료: 環境科學論文集-한양대학교 환경공학연구소. 한양대학교출판원. 10집(1989년), p. 37-52 10<37 상세보기 ISSN 1598-5563
저자: 오재응, 한양대학교 공과대학 정밀기계과
저자: 김동규, 조선대학교 공과대학 우주항공과
저자: 오재응, 한양대학교 공과대학 정밀기계과
저자: 김동규, 조선대학교 공과대학 우주항공과
출처
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
