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열처리 조건에 따른 ferroelectric 박막용 하부전극의 미세구조 변화 = Microstructure change in the bottom electrode of the ferroelectric films during annealing in various ambients
표제/저자사항 열처리 조건에 따른 ferroelectric 박막용 하부전극의 미세구조 변화 = Microstructure change in the bottom electrode of the ferroelectric films during annealing in various ambients / 姜芸炳, 李胎坤, 金東贊, 金暎鎬
형태사항 p. 239-244; 30 cm
주기사항 수록자료: 대한금속ㆍ재료학회지. 대한금속.재료학회. 38권 2호(2000년 2월), p. 239-244 38:2<239 상세보기 ISSN 0253-3847
저자: 강운병, 한양대학교 공과대학 재료공학과
저자: 이태곤, 한양대학교 공과대학 재료공학과
저자: 김동찬, 한양대학교 공과대학 재료공학과
저자: 김영호, 한양대학교 공과대학 재료공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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