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미세 전기기계 시스템용 알루미늄 박막의 탄성계수 및 항복강도 평가 = Evaluation of young's modulus and yield strength of Al film using microcantilever beams
표제/저자사항 미세 전기기계 시스템용 알루미늄 박막의 탄성계수 및 항복강도 평가 = Evaluation of young's modulus and yield strength of Al film using microcantilever beams / 孫東一, 朱永昶, 權東一
형태사항 p. 274-281; 30 cm
주기사항 수록자료: 대한금속ㆍ재료학회지. 대한금속.재료학회. 39권 3호(2001년 3월), p. 274-281 39:3<274 상세보기 ISSN 0253-3847
저자: 손동일, 서울대학교 재료공학부
저자: 주영창, 서울대학교 재료공학부
저자: 권동일, 서울대학교 재료공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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