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플라즈마 및 RTA 전처리가 Cu 전해도금에 미치는 효과 = Effects of plasma / RTA pretreatment on Cu electroplating
표제/저자사항 플라즈마 및 RTA 전처리가 Cu 전해도금에 미치는 효과 = Effects of plasma / RTA pretreatment on Cu electroplating / 李翰昇, 金顯洙, 李鍾武
형태사항 p. 920-926; 30 cm
주기사항 수록자료: 대한금속ㆍ재료학회지. 대한금속.재료학회. 39권 8호(2001년 8월), p. 920-926 39:8<920 상세보기 ISSN 0253-3847
저자: 이한승, 인하대학교 재료공학부
저자: 김현수, 인하대학교 재료공학부
저자: 이종무, 인하대학교 재료공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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