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집속이온빔 장치를 위한 액체갈륨이온원의 빔에너지 분포 및 퍼짐특성 = Measurements of energy distributions and it's spread of liquid gallium ion source in focused ion beam device
표제/저자사항 집속이온빔 장치를 위한 액체갈륨이온원의 빔에너지 분포 및 퍼짐특성 = Measurements of energy distributions and it's spread of liquid gallium ion source in focused ion beam device / 최은하, 조광섭, 강승언
형태사항 p. 167-172; 26 cm
주기사항 수록자료: 論文集-光云大學校. 純粹應用科學 編. 光云大學校. 22집(1993년), p. 167-172 22<167 상세보기
저자: 최은하, 광운대학교 공과대학 물리학과 조교수
저자: 조광섭, 광운대학교 공과대학 물리학과 부교수
저자: 강승언, 광운대학교 공과대학 물리학과 교수
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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