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이온성 클러스터 빔 증착의 박막 형성 기구에 관한 연구 = (A)study on the film-formation mechanism by ionized cluster beam deposition
표제/저자사항 이온성 클러스터 빔 증착의 박막 형성 기구에 관한 연구 = (A)study on the film-formation mechanism by ionized cluster beam deposition / 신치범, 이경호, 황경순, 문상흡, 조원일, 윤경석
형태사항 p. 464-472; 30 cm
주기사항 수록자료: 공업화학. 한국공업화학회. 7권 3호(1996년 6월), p. 464-472 7:3<464 상세보기 ISSN 1225-0112
저자: 신치범, 아주대학교 화학공학과
저자: 이경호, 아주대학교 화학공학과
저자: 황경순, 서울대학교 화학공학과
저자: 문상흡, 서울대학교 화학공학과
저자: 조원일, 한국과학기술원 화공연구부
저자: 윤경석, 한국과학기술원 화공연구부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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