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ECR-PECVD 법으로 증착한 다이아몬드성 카본박막의 구조와 성질에 미치는 기판 rf 바이어스의 영향 = (The)effect of RF substrate biasing on the properties and structure of DLC films by ECR-PECVD
표제/저자사항 ECR-PECVD 법으로 증착한 다이아몬드성 카본박막의 구조와 성질에 미치는 기판 rf 바이어스의 영향 = (The)effect of RF substrate biasing on the properties and structure of DLC films by ECR-PECVD / 姜大煥, 金起範, 金泰鎬, 李志華
형태사항 p. 99-106; 30 cm
주기사항 수록자료: 대한금속학회지. 大韓金屬學會. 제33권 1호(1995년 1월), p. 99-106 33:1<99 상세보기 ISSN 0253-3847
저자: 강대환, 서울대학교 공과대학 금속공학과
저자: 김기범, 서울대학교 공과대학 금속공학과
저자: 김태호, 오리엔트시계공업주식회사 기술연구소
저자: 이지화, 서울대학교 공과대학 공업화학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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