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Al / TaN / Si 계에서의 TaN 의 충진처리가 확산방지막의 성능에 미치는 영향에 대한 연구 = Effect of stuffing of TaN on the diffusion barrier property in Al / TaN / Si system
표제/저자사항
Al / TaN / Si 계에서의 TaN 의 충진처리가 확산방지막의 성능에 미치는 영향에 대한 연구 = Effect of stuffing of TaN on the diffusion barrier property in Al / TaN / Si system / 尹泰植, 趙性來, 閔晳泓, 金起範
형태사항
p. 271-276; 30 cm
주기사항
수록자료: 대한금속학회지. 大韓金屬學會. 제35권 2호(1997년 2월), p. 271-276 35:2<271 상세보기 ISSN 0253-3847
저자: 윤태식, 서울대학교 공과대학 재료공학부
저자: 조성래, 서울대학교 공과대학 재료공학부
저자: 민석홍, 서울대학교 공과대학 재료공학부
저자: 김기범, 서울대학교 공과대학 재료공학부
저자: 윤태식, 서울대학교 공과대학 재료공학부
저자: 조성래, 서울대학교 공과대학 재료공학부
저자: 민석홍, 서울대학교 공과대학 재료공학부
저자: 김기범, 서울대학교 공과대학 재료공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
