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ULSI 금속배선용 구리의 전착 = Electrodeposition of copper for ULSI metallization
표제/저자사항
ULSI 금속배선용 구리의 전착 = Electrodeposition of copper for ULSI metallization / 崔창熙, 李孝鍾, 閔晳泓, 金起範, 李東寧
형태사항
p. 1686-1691; 30 cm
주기사항
수록자료: 대한금속학회지. 大韓金屬學會. 제36권 10호(1998년 10월), p. 1686-1691 36:10<1686 상세보기 ISSN 0253-3847
저자: 최창희, 서울대학교박막가공 및 결정성장연구센터
저자: 이효종, 서울대학교재료공학부
저자: 민석홍, 서울대학교박막가공 및 결정성장연구센터
저자: 김기범, 서울대학교재료공학부
저자: 이동녕, 서울대학교재료공학부
저자: 최창희, 서울대학교박막가공 및 결정성장연구센터
저자: 이효종, 서울대학교재료공학부
저자: 민석홍, 서울대학교박막가공 및 결정성장연구센터
저자: 김기범, 서울대학교재료공학부
저자: 이동녕, 서울대학교재료공학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
