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위치 민감 검출기를 이용한 몰리브덴 박막의 잔류응력 해석 = Analysis of residual stress in textured Mo thin films with position sensitive detector
표제/저자사항 위치 민감 검출기를 이용한 몰리브덴 박막의 잔류응력 해석 = Analysis of residual stress in textured Mo thin films with position sensitive detector / 辛粲善, 趙宰炯, 崔時熏, 吳奎煥
형태사항 p. 1222-1227; 30 cm
주기사항 수록자료: 대한금속학회지. 大韓金屬學會. 제36권 8호(1998년 8월), p. 1222-1227 36:8<1222 상세보기 ISSN 0253-3847
저자: 신찬선, 서울대학교공과대학재료공학부
저자: 조재형, 서울대학교공과대학재료공학부
저자: 최시훈, 서울대학교공과대학재료공학부
저자: 오규환, 서울대학교공과대학재료공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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