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12″웨이퍼 spin etcher용 실시간 박막두께 측정장치의 개발 = Development of real time thin film meaurement system of 12″wafer for spin etcher
표제/저자사항
12″웨이퍼 spin etcher용 실시간 박막두께 측정장치의 개발 = Development of real time thin film meaurement system of 12″wafer for spin etcher / 서학석, 김노유, 조중근
형태사항
p. 143-150; 30 cm
주기사항
수록자료: (학술대회)논문집-한국비파괴검사학회. 한국비파괴검사학회. 2002년 추계(2002년 11월), p. 143-150 2002:2<143 상세보기
저자: 서학석, 한국기술교육대학교 대학원
저자: 김노유, 한국기술교육대학교 메카트로닉스 공학부
저자: 조중근, 한국DNS
저자: 서학석, 한국기술교육대학교 대학원
저자: 김노유, 한국기술교육대학교 메카트로닉스 공학부
저자: 조중근, 한국DNS
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
