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음성 감광막 몰드를 이용한 Ni 과 Ni-W MEMS 구조물 제작 = (A)fabrication of Ni and Ni-W structures for MEMS by using negative photoresist molds
표제/저자사항
음성 감광막 몰드를 이용한 Ni 과 Ni-W MEMS 구조물 제작 = (A)fabrication of Ni and Ni-W structures for MEMS by using negative photoresist molds / 황완식, 박준식, 김윤호, 박순섭, 이인규, 강성군
형태사항
p. 123-130; 26 cm
주기사항
수록자료: 航空宇宙産業技術硏究所 硏究誌. 한국항공대학교 항공우주산업기술연구소. 제12집(2002), p. 123-130 12<123 상세보기 ISSN 1598-7485
저자: 황완식, 한국항공대학교 항공재료공학과
저자: 박준식, 전자부품연구원(KETI), 한양대학교 재료공학과
저자: 김윤호, 한국항공대학교 항공재료공학과
저자: 박순섭, 전자부품연구원(KETI)
저자: 이인규, 한국항공대학교 항공재료공학과
저자: 강성군, 한양대학교 재료공학과
저자: 황완식, 한국항공대학교 항공재료공학과
저자: 박준식, 전자부품연구원(KETI), 한양대학교 재료공학과
저자: 김윤호, 한국항공대학교 항공재료공학과
저자: 박순섭, 전자부품연구원(KETI)
저자: 이인규, 한국항공대학교 항공재료공학과
저자: 강성군, 한양대학교 재료공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
