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텅스텐-보론-질소 화합물 박막의 식각 특성 = Etching behaviors of tungsten boron nitride compound thin fims
표제/저자사항
텅스텐-보론-질소 화합물 박막의 식각 특성 = Etching behaviors of tungsten boron nitride compound thin fims / 이창우, 김지곤, 이갑용
형태사항
p. 133-142; 26 cm
주기사항
수록자료: (基礎科學硏究所)論文集-國民大學校. 國民大學校出版部. 21輯(2002년), p. 133-142 21<133 상세보기 ISSN 1226-0002
저자: 이창우, 국민대학교 자연과학대학 나노전자물리학전공 부교수 E-MAIL: cwlee@kookmin.ac.kr
저자: 김지곤, 국민대학교 나노전자물리학전공 대학원생
저자: 이갑용, 국민대학교 나노전자물리학전공 대학원생
저자: 이창우, 국민대학교 자연과학대학 나노전자물리학전공 부교수 E-MAIL: cwlee@kookmin.ac.kr
저자: 김지곤, 국민대학교 나노전자물리학전공 대학원생
저자: 이갑용, 국민대학교 나노전자물리학전공 대학원생
출처
국립중앙도서관 바로가기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
