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나노선 연구에 있어서의 전자빔 식각기술의 응용
표제/저자사항 나노선 연구에 있어서의 전자빔 식각기술의 응용 / 김강현, 김규태
형태사항 p. 17-21; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료. 한국전기전자재료학회. Vol.17 no.6(2004년 6월), p. 17-21 17:6<17 상세보기 ISSN 1226-7937
저자: 김강현, 고려대 전기공학과 박사과정
저자: 김규태, 고려대 전기공학과 교수
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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