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ICPHFCVD에 의한 탄소나노튜브의 수직 배향과 에칭을 이용한 Ni-tip의 제거 = (The)vertical alignment of CNTs and Ni-tip removal by etching at ICPHFCVD
표제/저자사항
ICPHFCVD에 의한 탄소나노튜브의 수직 배향과 에칭을 이용한 Ni-tip의 제거 = (The)vertical alignment of CNTs and Ni-tip removal by etching at ICPHFCVD / 김광식, 장건익, 장호정, 류호진
형태사항
p. 55-60; 26 cm
주기사항
수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 9권 4호(2002년 12월), p. 55-60 9:4<55 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 김광식, 한국화학연구원 화학소재부
저자: 장건익, 충북대학교 재료공학과
저자: 장호정, 단국대학교 전자공학과
저자: 류호진, 한국화학연구원 화학소재부
저자: 김광식, 한국화학연구원 화학소재부
저자: 장건익, 충북대학교 재료공학과
저자: 장호정, 단국대학교 전자공학과
저자: 류호진, 한국화학연구원 화학소재부
출처
국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
