국가전거
저자 전거 검색
기사
반도체 배선용 저 유전 물질에서의 구리 확산에 대한 전기적 신뢰성 평가 = Characterization of electrical properties on Cu diffusion in low-k dielectric materials for ULSI interconnect
표제/저자사항
반도체 배선용 저 유전 물질에서의 구리 확산에 대한 전기적 신뢰성 평가 = Characterization of electrical properties on Cu diffusion in low-k dielectric materials for ULSI interconnect / 이희찬, 주영창, 노현욱, 윤도영, 이진규, 차국헌
형태사항
p. 9-15; 26 cm
주기사항
수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 11권 3호(2004년 9월), p. 9-15 11:3<9 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 이희찬, 서울대학교 재료공학부
저자: 주영창, 서울대학교 재료공학부 E-MAIL: ycjoo@plaza.snu.ac.kr
저자: 노현욱, 서울대학교 화학과
저자: 윤도영, 서울대학교 화학과
저자: 이진규, 서울대학교 화학과
저자: 차국헌, 서울대학교 응용화학부
저자: 이희찬, 서울대학교 재료공학부
저자: 주영창, 서울대학교 재료공학부 E-MAIL: ycjoo@plaza.snu.ac.kr
저자: 노현욱, 서울대학교 화학과
저자: 윤도영, 서울대학교 화학과
저자: 이진규, 서울대학교 화학과
저자: 차국헌, 서울대학교 응용화학부
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
