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Al-Ta 합금박막의 구조적 인자가 전기적 특성 및 발열 특성에 미치는 영향 = Influences of structural features on electrical properties and heating characteristics of Al-Ta alloy thin films
표제/저자사항 Al-Ta 합금박막의 구조적 인자가 전기적 특성 및 발열 특성에 미치는 영향 = Influences of structural features on electrical properties and heating characteristics of Al-Ta alloy thin films / 송대권, 이종원, 박인용, 김규진
형태사항 p. 23-27; 26 cm
주기사항 수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 11권 4호(2004년 12월), p. 23-27 11:4<23 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 송대권, 한밭대학교 재료공학과
저자: 이종원, 한밭대학교 재료공학과 E-MAIL: jwlee@hanbat.ac.kr
저자: 박인용, 한밭대학교 재료공학과
저자: 김규진, 휴먼일렉스(주)
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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