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암모니아 펄스 플라즈마를 이용한 원자층 증착된 질화텅스텐 확산방지막 특성 = NH₃pulse plasma treatment for atomic layer deposition of W-N diffusion barrier
표제/저자사항
암모니아 펄스 플라즈마를 이용한 원자층 증착된 질화텅스텐 확산방지막 특성 = NH₃pulse plasma treatment for atomic layer deposition of W-N diffusion barrier / 이창우
형태사항
p. 29-35; 26 cm
주기사항
수록자료: 마이크로전자 및 패키징학회지. 한국마이크로전자 및 패키징학회. 11권 4호(2004년 12월), p. 29-35 11:4<29 상세보기 ISSN 1226-9360
저자: 이창우, 국민대학교 나노전자물리학과 E-MAIL: cwlee@kookmin.ac.kr
저자: 이창우, 국민대학교 나노전자물리학과 E-MAIL: cwlee@kookmin.ac.kr
출처
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
