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마이크로 패키지의 밀폐도 측정을 위한 정전용량형 폴리이미드 습도센서 = (A)capacitive type humidity sensor using a polyimide film for hermeticity measurement of micro packages
표제/저자사항 마이크로 패키지의 밀폐도 측정을 위한 정전용량형 폴리이미드 습도센서 = (A)capacitive type humidity sensor using a polyimide film for hermeticity measurement of micro packages / 김용호, 김용준, 김경일, 김중현
형태사항 p. 132-136; 26 cm
주기사항 수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 13권 4호(2004년 7월), p. 132-136 13:4<132 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 김용호, 연세대학교 기계공학과 E-MAIL: yonghokim@yonsei.ac.kr
저자: 김용준, 연세대학교 기계공학과
저자: 김경일, 연세대학교 화학공학과
저자: 김중현, 연세대학교 화학공학과
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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