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MEMS 공정을 이용한 단결정 실리콘 미세 인장시편과 미세 변형 측정용 알루미늄 marker의 제조 = Fabrication of single crystal silicon micro-tensile test specimens and thin film aluminum markers for measuring tensile strain using MEMS processes
표제/저자사항
MEMS 공정을 이용한 단결정 실리콘 미세 인장시편과 미세 변형 측정용 알루미늄 marker의 제조 = Fabrication of single crystal silicon micro-tensile test specimens and thin film aluminum markers for measuring tensile strain using MEMS processes / 박준식, 전창성, 박광범, 윤대원, 이형욱, 이낙규, 이상목, 나경환, 최현석, 한창수
형태사항
p. 285-289; 26 cm
주기사항
수록자료: 塑性加工. 한국소성가공학회. 13권 3호(2004년 6월), p. 285-289 13:3<285 상세보기 ISSN 1225-696X
저자: 박준식, 전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 전창성, 전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 박광범, 전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 윤대원, 전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 이형욱, 한국생산기술연구원 생산공정기술본부
저자: 이낙규, 한국생산기술연구원 생산공정기술본부
저자: 이상목, 한국생산기술연구원 생산공정기술본부
저자: 나경환, 한국생산기술연구원 생산공정기술본부
저자: 최현석, 한양대학교 기계공학과
저자: 한창수, 한양대학교 기계공학과
저자: 박준식, 전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 전창성, 전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 박광범, 전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 윤대원, 전자부품연구원 나노메카트로닉스 연구센터
저자: 이형욱, 한국생산기술연구원 생산공정기술본부
저자: 이낙규, 한국생산기술연구원 생산공정기술본부
저자: 이상목, 한국생산기술연구원 생산공정기술본부
저자: 나경환, 한국생산기술연구원 생산공정기술본부
저자: 최현석, 한양대학교 기계공학과
저자: 한창수, 한양대학교 기계공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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05201▼a470▼b15-3
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08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
