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비정질 실리콘의 ELC 공정에 대한 광학적 연구 = (An)optical study on ELC process of amorphous silicon
표제/저자사항 비정질 실리콘의 ELC 공정에 대한 광학적 연구 = (An)optical study on ELC process of amorphous silicon / 김우진, 윤창환, 박승호, 김형준
형태사항 p. 9-18; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국레이저가공학회지. 한국레이저가공학회. Vol.6 no.2(2003년 8월), p. 9-18 6:2<9 상세보기 ISSN 1229-0963
저자: 김우진, 홍익대학교 대학원 기계공학과
저자: 윤창환, 홍익대학교 대학원 기계공학과
저자: 박승호, 홍익대학교 기계시스템디자인공학과
저자: 김형준, 홍익대학교 신소재공학과속
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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