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BCl₃기반 가스를 이용한 GaAs의 고밀도 평판형 유도결합 플라즈마 식각 = High density planar inductively coupled plasma etching of GaAs in BCl₃-based chemistries
표제/저자사항
BCl₃기반 가스를 이용한 GaAs의 고밀도 평판형 유도결합 플라즈마 식각 = High density planar inductively coupled plasma etching of GaAs in BCl₃-based chemistries / 임완태, 백인규, 유승열, 이제원, 조관식, 전민현, S.J. Pearton
형태사항
p. 418-422; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국표면공학회지. 한국표면공학회. 36권 5호(2003년 10월), p. 418-422 36:5<418 상세보기 ISSN 1225-8024
저자: 임완태, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: 백인규, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: 유승열, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: 이제원, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소 E-MAIL: jwlee@inje.ac.kr
저자: 조관식, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: 전민현, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: S.J. Pearton, Department of Materials Sci. and Eng., University of Florida
저자: 임완태, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: 백인규, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: 유승열, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: 이제원, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소 E-MAIL: jwlee@inje.ac.kr
저자: 조관식, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: 전민현, 인제대학교 나노공학부/나노기술 응용연구소
저자: S.J. Pearton, Department of Materials Sci. and Eng., University of Florida
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
