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플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석 = Deformation analysis of the surface micromachined MEMS structures due to the plasma ashing process
표제/저자사항
플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석 = Deformation analysis of the surface micromachined MEMS structures due to the plasma ashing process / 김종훈, 황근철, 이백우, 김정길, 김광석, 백창욱, 김용권, 권동일, 김용협
형태사항
p. 53-62; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國航空宇宙學會誌. 韓國航空宇宙學會. 제31권 7호(2003년 9월), p. 53-62 31:7<53 상세보기 ISSN 1225-1348
저자: 김종훈, 서울대학교 공과대학 대학원
저자: 황근철, 서울대학교 공과대학 대학원
저자: 이백우, 서울대학교 공과대학 대학원
저자: 김정길, 서울대학교 공과대학 대학원
저자: 김광석, 한국항공대학교 공과대학 대학원
저자: 백창욱, 서울대학교 전기컴퓨터공학부
저자: 김용권, 서울대학교 전기컴퓨터공학부
저자: 권동일, 서울대학교 재료공학과
저자: 김용협, 정회원, 서울대학교 기계항공공학부 E-MAIL: yhkim@gong.snu.ac.kr
저자: 김종훈, 서울대학교 공과대학 대학원
저자: 황근철, 서울대학교 공과대학 대학원
저자: 이백우, 서울대학교 공과대학 대학원
저자: 김정길, 서울대학교 공과대학 대학원
저자: 김광석, 한국항공대학교 공과대학 대학원
저자: 백창욱, 서울대학교 전기컴퓨터공학부
저자: 김용권, 서울대학교 전기컴퓨터공학부
저자: 권동일, 서울대학교 재료공학과
저자: 김용협, 정회원, 서울대학교 기계항공공학부 E-MAIL: yhkim@gong.snu.ac.kr
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
