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이온 주입에 의한 다결정 실리콘의 응력 구배 완화 및 물성 개선 = Stress gradient relaxation and property modification of polysilicon films by ion implantation
표제/저자사항
이온 주입에 의한 다결정 실리콘의 응력 구배 완화 및 물성 개선 = Stress gradient relaxation and property modification of polysilicon films by ion implantation / 석지원, 강태준, 이상준, 이재형, 이재상, 한준희, 이호영, 김용협
형태사항
p. 73-78; 26 cm
주기사항
수록자료: 韓國航空宇宙學會誌. 韓國航空宇宙學會. 제31권 10호(2003년 12월), p. 73-78 31:10<73 상세보기 ISSN 1225-1348
저자: 석지원, 서울대학교 기계항공공학부
저자: 강태준, 서울대학교 기계항공공학부
저자: 이상준, 서울대학교 기계항공공학부
저자: 이재형, 한국원자력연구소
저자: 이재상, 한국원자력연구소
저자: 한준희, 한국표준과학연구원
저자: 이호영, 정회원, 서울대학교 기계항공공학부
저자: 김용협, 정회원, 서울대학교 기계항공공학부 E-MAIL: yongkim@snu.ac.kr
저자: 석지원, 서울대학교 기계항공공학부
저자: 강태준, 서울대학교 기계항공공학부
저자: 이상준, 서울대학교 기계항공공학부
저자: 이재형, 한국원자력연구소
저자: 이재상, 한국원자력연구소
저자: 한준희, 한국표준과학연구원
저자: 이호영, 정회원, 서울대학교 기계항공공학부
저자: 김용협, 정회원, 서울대학교 기계항공공학부 E-MAIL: yongkim@snu.ac.kr
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
