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Rf-sputtering법으로 증착한 PZT박막의 타겟의 Pb 함량에 따른 전기적 특성에 관한 연구 = Electrical characteristics of PZT thin film deposited by Rf-magnetron sputtering as Pb excess content of target
표제/저자사항 Rf-sputtering법으로 증착한 PZT박막의 타겟의 Pb 함량에 따른 전기적 특성에 관한 연구 = Electrical characteristics of PZT thin film deposited by Rf-magnetron sputtering as Pb excess content of target / 이규일, 강현일, 박영, 박기엽, 송준태
형태사항 p. 186-189; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료학회 논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.16 no.3(2003년 3월), p. 186-189 16:3<186 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 이규일, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학과
저자: 강현일, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학과
저자: 박영, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학과
저자: 박기엽, 부산정보대학 전기전자공학과
저자: 송준태, 성균관대학교 전기전자 및 컴퓨터공학과 E-MAIL: jtsong@yurim.skku.ac.kr
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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