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CMOS 소자를 위한 NiSi의 surface damage 의존성 = (The)dependency of surface damage to NiSi for CMOS technology
표제/저자사항
CMOS 소자를 위한 NiSi의 surface damage 의존성 = (The)dependency of surface damage to NiSi for CMOS technology / 지희환, 안순의, 배미숙, 이헌진, 오순영, 이희덕, 왕진석
형태사항
p. 280-285; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회 논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.16 no.4(2003년 4월), p. 280-285 16:4<280 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 지희환, 충남대학교 전자공학과 E-MAIL: jhw@cnu.ac.kr
저자: 안순의, 충남대학교 전자공학과
저자: 배미숙, 충남대학교 전자공학과
저자: 이헌진, 충남대학교 전자공학과
저자: 오순영, 충남대학교 전자공학과
저자: 이희덕, 충남대학교 전자공학과
저자: 왕진석, 충남대학교 전자공학과
저자: 지희환, 충남대학교 전자공학과 E-MAIL: jhw@cnu.ac.kr
저자: 안순의, 충남대학교 전자공학과
저자: 배미숙, 충남대학교 전자공학과
저자: 이헌진, 충남대학교 전자공학과
저자: 오순영, 충남대학교 전자공학과
저자: 이희덕, 충남대학교 전자공학과
저자: 왕진석, 충남대학교 전자공학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
