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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장시킨 0.5% ce-doped Ba(Z$$r_{0.2}$$< / TEX>T$$i_{0.8}$$< / TEX>)O₃(BCZT) 박막의 열처리 특성분석 = Characterization of the annealing effect of 0.5% ce-doped Ba(Z$$r_{0.2}$$< / TEX>T$$i_{0.8}$$< / TEX>)O₃thin films grown by RF magnetron sputtering method
표제/저자사항 RF 마그네트론 스퍼터링법으로 성장시킨 0.5% ce-doped Ba(Z$$r_{0.2}$$< / TEX>T$$i_{0.8}$$< / TEX>)O₃(BCZT) 박막의 열처리 특성분석 = Characterization of the annealing effect of 0.5% ce-doped Ba(Z$$r_{0.2}$$< / TEX>T$$i_{0.8}$$< / TEX>)O₃thin films grown by RF magnetron sputtering method / 최원석, 박용섭, 이준신, 홍병유
형태사항 p. 361-364; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료학회 논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.16 no.5(2003년 5월), p. 361-364 16:5<361 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 최원석, 성균관대학교 정보통신공학부
저자: 박용섭, 성균관대학교 정보통신공학부
저자: 이준신, 성균관대학교 정보통신공학부
저자: 홍병유, 성균관대학교 정보통신공학부 E-MAIL: byhong@yurim.skku.ac.kr
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담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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