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초고속 광변조기 제작을 위한 LiNbO₃도파로의 건식식각 = Dry etching of patterned LiNbO₃waveguides for the high-speed optical modulator fabrication
표제/저자사항 초고속 광변조기 제작을 위한 LiNbO₃도파로의 건식식각 = Dry etching of patterned LiNbO₃waveguides for the high-speed optical modulator fabrication / 양우석, 김우경, 이승태, 박우정, 장현수, 윤대호, 이한영
형태사항 p. 731-735; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료학회 논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.16 no.8(2003년 8월), p. 731-735 16:8<731 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 양우석, 전자부품연구원 광부품연구센터 E-MAIL: wsyang@keti.re.kr
저자: 김우경, 전자부품연구원 광부품연구센터
저자: 이승태, 단국대학교 전자공학과
저자: 박우정, 성균관대학교 신소재공학과
저자: 장현수, 성균관대학교 정보통신공학부
저자: 윤대호, 성균관대학교 신소재공학과
저자: 이한영, 전자부품연구원 광부품연구센터
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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