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비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H 의 물리적 특성 = Characteristics of hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) thin films grown by close field unbalanced magnetron sputtering method
표제/저자사항
비대칭 마그네트론 스퍼터링법으로 성장된 a-C:H 의 물리적 특성 = Characteristics of hydrogenated amorphous carbon (a-C:H) thin films grown by close field unbalanced magnetron sputtering method / 박용섭, 홍병유
형태사항
p. 278-282; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회 논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.17 no.3(2004년 3월), p. 278-282 17:3<278 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 박용섭, 성균관대학교 정보통신공학부
저자: 홍병유, 플라즈마 응용 표면기술 연구센타 E-MAIL: byhong@yurim.skku.ac.kr
저자: 박용섭, 성균관대학교 정보통신공학부
저자: 홍병유, 플라즈마 응용 표면기술 연구센타 E-MAIL: byhong@yurim.skku.ac.kr
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
