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MMIC에 적용되는 MIM 커패시터의 실리콘 질화막 증착과 전기적 특성 = Deposition and electrical properties of silicon nitride thin film MIM capacitors for MMIC applications
표제/저자사항
MMIC에 적용되는 MIM 커패시터의 실리콘 질화막 증착과 전기적 특성 = Deposition and electrical properties of silicon nitride thin film MIM capacitors for MMIC applications / 성호근, 소순진, 박춘배
형태사항
p. 283-288; 26 cm
주기사항
수록자료: 전기전자재료학회 논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.17 no.3(2004년 3월), p. 283-288 17:3<283 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 성호근, 원광대학교 전기전자 및 정보공학부
저자: 소순진, (주)나리지온
저자: 박춘배, 원광대학교 전기전자 및 정보공학부 E-MAIL: cbpark@wonkang.ac.kr
저자: 성호근, 원광대학교 전기전자 및 정보공학부
저자: 소순진, (주)나리지온
저자: 박춘배, 원광대학교 전기전자 및 정보공학부 E-MAIL: cbpark@wonkang.ac.kr
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
