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마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법 = Modified illumination by binary phase diffractive patterns on the backside of a photomask
표제/저자사항 마스크 뒷면에 2 위상 회절 격자를 구현한 변형 조명 방법 = Modified illumination by binary phase diffractive patterns on the backside of a photomask / 이재철, 오용호, 고춘수
형태사항 p. 697-700; 26 cm
주기사항 수록자료: 전기전자재료학회 논문지. 한국전기전자재료학회. Vol.17 no.7(2004년 7월), p. 697-700 17:7<697 상세보기 ISSN 1226-7945
저자: 이재철, 원광대학교 전기전자 및 정보공학부 E-MAIL: jclee@wonkwang.ac.kr
저자: 오용호, 원광대학교 전기전자 및 정보공학부
저자: 고춘수, 원광대학교 전기전자 및 정보공학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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