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AI(Si, Cu) 합금막의 플라즈마 식각후 표면 특성 = Surface properties of AI(Si, Cu) alloy film after plasma etching
표제/저자사항
AI(Si, Cu) 합금막의 플라즈마 식각후 표면 특성 = Surface properties of AI(Si, Cu) alloy film after plasma etching / 구진근, 김창일, 박형호, 권광호, 현영철, 서경수, 남기수
형태사항
p. 291-297; 26 cm
주기사항
수록자료: 電氣電子材料學會誌. 韓國電氣電子材料學會. 9卷 3號(1996년 3월), p. 291-297 9:3<291 상세보기 ISSN 1225-6684
저자: 구진근, 한국전자통신연구소 반도체연구단 단위공정연구실장(책임연구원)
저자: 김창일, 안양대학교 전기공학과 전임강사
저자: 박형호, 연세대학교 공대 세라믹공학과 조교수
저자: 권광호, 한서대학교 전자공학과 전임강사
저자: 현영철, 한국전자통신연구소 반도체연구단 선임연구원
저자: 서경수, 한국전자통신연구소 반도체연구단 책임연구원
저자: 남기수, 한국전자통신연구소 반도체연구단 주문형 반도체연구부장(책임연구원)
저자: 구진근, 한국전자통신연구소 반도체연구단 단위공정연구실장(책임연구원)
저자: 김창일, 안양대학교 전기공학과 전임강사
저자: 박형호, 연세대학교 공대 세라믹공학과 조교수
저자: 권광호, 한서대학교 전자공학과 전임강사
저자: 현영철, 한국전자통신연구소 반도체연구단 선임연구원
저자: 서경수, 한국전자통신연구소 반도체연구단 책임연구원
저자: 남기수, 한국전자통신연구소 반도체연구단 주문형 반도체연구부장(책임연구원)
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
