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다층 리지스트 및 화합물 반도체 기판 구조에서의 전자 빔 리소그래피 공정을 위한 몬테 카를로 시뮬레이션 모델 개발 = (A)monte carlo simulation model development for electron beam lithography process in the multi-layer resists and compound semiconductor substrates
표제/저자사항
다층 리지스트 및 화합물 반도체 기판 구조에서의 전자 빔 리소그래피 공정을 위한 몬테 카를로 시뮬레이션 모델 개발 = (A)monte carlo simulation model development for electron beam lithography process in the multi-layer resists and compound semiconductor substrates / 손명식
형태사항
p. 182-192; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국진공학회지. 韓國眞空學會. 12권 3호(2003년 9월), p. 182-192 12:3<182 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 손명식, 동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터 E-MAIL: sonms@dgu.edu
저자: 손명식, 동국대학교 밀리미터파 신기술 연구센터 E-MAIL: sonms@dgu.edu
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
