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RF magnetron sputtering법으로 증착된 ZnNiO박막의 특성 = ZnNiO thin films deposited by r.f. magnetron sputtering method
표제/저자사항 RF magnetron sputtering법으로 증착된 ZnNiO박막의 특성 = ZnNiO thin films deposited by r.f. magnetron sputtering method / 오형택, 이태경, 김동우, 박용주, 박일우, 김은규
형태사항 p. 269-274; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국진공학회지. 韓國眞空學會. 12권 4호(2003년 12월), p. 269-274 12:4<269 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 오형택, 한국과학기술연구원 나노소자연구센터
저자: 이태경, 한국과학기술연구원 나노소자연구센터
저자: 김동우, 한국과학기술연구원 나노소자연구센터
저자: 박용주, 한국과학기술연구원 나노소자연구센터
저자: 박일우, 기초과학지원연구소 서울분소
저자: 김은규, 한양대학교 물리학과 E-MAIL: ek-kim@hanyang.ac.kr
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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