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Ion-cut에 의한 SOI웨이퍼 제조에서의 양성자조사기구 = Proton implantation mechanism involved in the fabrication of SOI wafer by ion-cut process
표제/저자사항
Ion-cut에 의한 SOI웨이퍼 제조에서의 양성자조사기구 = Proton implantation mechanism involved in the fabrication of SOI wafer by ion-cut process / 우형주, 최한우, 김준곤, 지영용
형태사항
p. 1-8; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국진공학회지. 韓國眞空學會. 13권 1호(2004년 3월), p. 1-8 13:1<1 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 우형주, 한국지질자원연구원, 입자빔응용팀 E-MAIL: hjwoo@kigam.re.kr
저자: 최한우, 한국지질자원연구원, 입자빔응용팀
저자: 김준곤, 한국지질자원연구원, 입자빔응용팀
저자: 지영용, 한국지질자원연구원, 입자빔응용팀
저자: 우형주, 한국지질자원연구원, 입자빔응용팀 E-MAIL: hjwoo@kigam.re.kr
저자: 최한우, 한국지질자원연구원, 입자빔응용팀
저자: 김준곤, 한국지질자원연구원, 입자빔응용팀
저자: 지영용, 한국지질자원연구원, 입자빔응용팀
출처
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MARC 보기
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
