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엑시머 레이저 어닐링을 이용하여 플라스틱 기판에 형성한 다결정 실리콘 박막의 특성 = Polycrystalline silicon thin film fabricated on plastic substrates by excimer laser annealing
표제/저자사항 엑시머 레이저 어닐링을 이용하여 플라스틱 기판에 형성한 다결정 실리콘 박막의 특성 = Polycrystalline silicon thin film fabricated on plastic substrates by excimer laser annealing / 조세현, 이인규, 김영훈, 문대규, 한정인
형태사항 p. 29-33; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국진공학회지. 韓國眞空學會. 13권 1호(2004년 3월), p. 29-33 13:1<29 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 조세현, 한국항공대학교 항공재료공학과 E-MAIL: visionmaker7@hau.ac.kr
저자: 이인규, 한국항공대학교 항공재료공학과
저자: 김영훈, 전자부품연구원 디스플레이센터
저자: 문대규, 전자부품연구원 디스플레이센터
저자: 한정인, 전자부품연구원 디스플레이센터
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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