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고분자 광도파로용 핫엠보싱 마스터의 표면거칠기 최소화를 위한 열산화 영향 = Thermal oxidation effect for sidewall roughness minimization of hot embossing master for polymer optical waveguides
표제/저자사항 고분자 광도파로용 핫엠보싱 마스터의 표면거칠기 최소화를 위한 열산화 영향 = Thermal oxidation effect for sidewall roughness minimization of hot embossing master for polymer optical waveguides / 최춘기, 정명영
형태사항 p. 34-38; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국진공학회지. 韓國眞空學會. 13권 1호(2004년 3월), p. 34-38 13:1<34 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 최춘기, 한국전자통신연구원, 기반기술연구소, 광접속모듈팀 E-MAIL: cgchoi@etri.re.kr
저자: 정명영, 부산대학교 나노과학기술학부
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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