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UV-NIL(ultraviolet-nano-imprinting-lithography) 방법을 이용한 나노 패터닝기술 = Nano-patterning technology using an UV-NIL method
표제/저자사항
UV-NIL(ultraviolet-nano-imprinting-lithography) 방법을 이용한 나노 패터닝기술 = Nano-patterning technology using an UV-NIL method / 심영석, 정준호, 손현기, 신영재, 이응숙, 최성욱, 김재호
형태사항
p. 39-45; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국진공학회지. 韓國眞空學會. 13권 1호(2004년 3월), p. 39-45 13:1<39 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 심영석, 한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부 E-MAIL: simshimhe@kimm.re.kr
저자: 정준호, 한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부
저자: 손현기, 한국기계연구원 첨단산업기술연구부
저자: 신영재, 한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부
저자: 이응숙, 한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부
저자: 최성욱, 아주대학교 분자과학기술학과
저자: 김재호, 아주대학교 분자과학기술학과
저자: 심영석, 한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부 E-MAIL: simshimhe@kimm.re.kr
저자: 정준호, 한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부
저자: 손현기, 한국기계연구원 첨단산업기술연구부
저자: 신영재, 한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부
저자: 이응숙, 한국기계연구원 지능형 정밀기계연구부
저자: 최성욱, 아주대학교 분자과학기술학과
저자: 김재호, 아주대학교 분자과학기술학과
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
