국가전거
저자 전거 검색
기사
트렌치 표면에서의 RIE 식각 손상 회복 = RIE induced damage recovery on trench surface
표제/저자사항
트렌치 표면에서의 RIE 식각 손상 회복 = RIE induced damage recovery on trench surface / 이주욱, 김상기, 배윤규, 구진근
형태사항
p. 120-126; 26 cm
주기사항
수록자료: 한국진공학회지. 韓國眞空學會. 13권 3호(2004년 9월), p. 120-126 13:3<120 상세보기 ISSN 1225-8822
저자: 이주욱, 한국전자통신연구원 기반기술연구소 E-MAIL: horklee@etri.re.kr
저자: 김상기, 한국전자통신연구원 기반기술연구소
저자: 배윤규, 한국전자통신연구원 기반기술연구소
저자: 구진근, 한국전자통신연구원 기반기술연구소
저자: 이주욱, 한국전자통신연구원 기반기술연구소 E-MAIL: horklee@etri.re.kr
저자: 김상기, 한국전자통신연구원 기반기술연구소
저자: 배윤규, 한국전자통신연구원 기반기술연구소
저자: 구진근, 한국전자통신연구원 기반기술연구소
출처
국립중앙도서관 바로가기
MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
007ta
008150107s2001 gak 100 kor
0490 ▼lEM6076783▼lEM6076784▼c2▼fSY
05201▼a470▼b15-3
056 ▼a470▼26
08201▼a570▼223
24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
