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비대칭 전극계에서의 1차원적 RF 플라즈마 모델링에 관한 연구 = Study on RF plasma modeling between unequal-sized electrodes using one-dimensional fluid method
표제/저자사항 비대칭 전극계에서의 1차원적 RF 플라즈마 모델링에 관한 연구 = Study on RF plasma modeling between unequal-sized electrodes using one-dimensional fluid method / 소순열, 임장섭
형태사항 p. 35-41; 26 cm
주기사항 수록자료: 조명·전기설비학회논문지. 韓國照明·電氣設備學會. 18권 5호(2004년 9월), p. 35-41 18:5<35 상세보기 ISSN 1229-4691
저자: 소순열, 훗가이도대학교 대학원 연구원 E-MAIL: janylim@mmu.ac.kr
저자: 임장섭, 목포해양대학교 해양전자통신공학부 부교수
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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