기사
포지티브 산 증식형 포토레지스트로 poly[(1-p-styrenesulfonyloxy-4-tosyloxycyclohexane)-co-(tert-butyl methacrylate)]의 합성 및 특성 연구 = Synthesis and characterization of poly[(1-p-styrenesulfonyloxy-4-tosyloxycyclohexane)-co-(tert-butyl methacrylate)] as positive acid-amplifying photoresists
표제/저자사항 포지티브 산 증식형 포토레지스트로 poly[(1-p-styrenesulfonyloxy-4-tosyloxycyclohexane)-co-(tert-butyl methacrylate)]의 합성 및 특성 연구 = Synthesis and characterization of poly[(1-p-styrenesulfonyloxy-4-tosyloxycyclohexane)-co-(tert-butyl methacrylate)] as positive acid-amplifying photoresists / 홍경일, 정용석, 임권택, 정연태
형태사항 p. 1116-1120; 30 cm
주기사항 수록자료: 공업화학. 한국공업화학회. 14권 8호(2003년 12월), p. 1116-1120 14:8<1116 상세보기 ISSN 1225-0112
저자: 홍경일, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부
저자: 정용석, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부
저자: 임권택, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부
저자: 정연태, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부 E-MAIL: ytjeong@pknu.ac.kr
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로