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193 nm 포토레지스트용 산 증식제로 2-나프탈렌술폰산과 2-티오펜술폰산 에스테르에 관한 연구 = 2-naphthalenesulfonate and 2-thiophenesulfonate esters as acid amplifiers for 193 nm photoresist
표제/저자사항
193 nm 포토레지스트용 산 증식제로 2-나프탈렌술폰산과 2-티오펜술폰산 에스테르에 관한 연구 = 2-naphthalenesulfonate and 2-thiophenesulfonate esters as acid amplifiers for 193 nm photoresist / 소진호, 임권택, 최상준, 정연태
형태사항
p. 424-428; 30 cm
주기사항
수록자료: 공업화학. 한국공업화학회. 15권 4호(2004년 6월), p. 424-428 15:4<424 상세보기 ISSN 1225-0112
저자: 소진호, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부
저자: 임권택, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부
저자: 최상준, 삼성전자 반도체 연구소
저자: 정연태, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부 E-MAIL: ytheong@pknu.ac.kr
저자: 소진호, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부
저자: 임권택, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부
저자: 최상준, 삼성전자 반도체 연구소
저자: 정연태, 부경대학교 공과대학 화상정보공학부 E-MAIL: ytheong@pknu.ac.kr
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
00520150303111639
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008150107s2001 gak 100 kor
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
710 ▼a한국생명윤리학회
710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
