기사
실리콘 미세 가공을 이용한 열전형 미소유량센서 제작 및 특성 = Fabrication and characteristics of micro-machined thermoelectric flow sensor
표제/저자사항 실리콘 미세 가공을 이용한 열전형 미소유량센서 제작 및 특성 = Fabrication and characteristics of micro-machined thermoelectric flow sensor / 이영화, 노성철, 나필선, 김국진, 이광철, 최용문, 박세일, 임영언
형태사항 p. 22-27; 26 cm
주기사항 수록자료: 센서학회지. 한국센서학회. 14권 1호(2005년 1월), p. 22-27 14:1<22 상세보기 ISSN 1225-5475
저자: 이영화, 충남대학교 대학원 재료공학과 박사과정
저자: 노성철, 한국기계연구원 열유체공정기술연구부
저자: 나필선, 충남대학교 대학원 재료공학과 박사과정
저자: 김국진, 한국표준과학연구원 전자기표준부
저자: 이광철, 한국표준과학연구원 전자기표준부
저자: 최용문, 한국표준과학연구원 물리표준부
저자: 박세일, 한국표준과학연구원 전자기표준부 E-MAIL: seilpark@kriss.re.kr
저자: 임영언, 충남대학교 신소재공학부 교수
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
위로