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이온스파터 加工한 觸針의 STM의 適用 = (An)application of ion sputter machined stylus to STM
표제/저자사항 이온스파터 加工한 觸針의 STM의 適用 = (An)application of ion sputter machined stylus to STM / 한응교, 노병옥, 박준서, 이범성
형태사항 p. 1398-1406; 26 cm
주기사항 수록자료: 大韓機械學會論文集. 大韓機械學會. 15卷 4號(1991년 7월), p. 1398-1406 15:4<1398 상세보기 ISSN 1225-5963
저자: 한응교, 정회원, 한양대학교 정밀기계과
저자: 노병옥, 정회원, 현대전자(주) 산업전자 연구소
저자: 박준서, 정회원, 한양대학교 정밀기계과 대학원
저자: 이범성, 정회원, 한양대학교 정밀기계과 대학원
출처 국립중앙도서관 바로가기
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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