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가열 또는 냉각되는 수평웨이퍼 표면으로의 입자침착에 관한 해석 = Analysis of particle deposition onto a heated or cooled, horizontal free-standing wafer surface
표제/저자사항
가열 또는 냉각되는 수평웨이퍼 표면으로의 입자침착에 관한 해석 = Analysis of particle deposition onto a heated or cooled, horizontal free-standing wafer surface / 유경훈, 오명도, 명현국
형태사항
p. 1319-1332; 26 cm
주기사항
수록자료: 大韓機械學會論文集. 大韓機械學會. 19卷 5號(1995년 5월), p. 1319-1332 19:5<1319 상세보기 ISSN 1225-5963
저자: 유경훈, 정회원, 생산기술연구원 생산설비개발센터
저자: 오명도, 정회원, 생산기술연구원 생산설비개발센터
저자: 명현국, 정회원, 국민대학교 자동차공학과
저자: 유경훈, 정회원, 생산기술연구원 생산설비개발센터
저자: 오명도, 정회원, 생산기술연구원 생산설비개발센터
저자: 명현국, 정회원, 국민대학교 자동차공학과
출처
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MARC 보기
001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
