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X-선 사진 식각 공정(LIGA)의 현황 및 전망 = (The)present state and prospect of LIGA technology
표제/저자사항 X-선 사진 식각 공정(LIGA)의 현황 및 전망 = (The)present state and prospect of LIGA technology / 박순섭, 홍성제, 정석원, 조진우, 조남규
형태사항 p. 36-44; 26 cm
주기사항 수록자료: 한국정밀공학회지. 한국정밀공학회. 17卷 7號(2000년 7월), p. 36-44 17:7<36 상세보기 ISSN 1225-9071
저자: 박순섭, 전자부품연구원 마이크로머신 연구센터 E-MAIL: parkss@nuri.keti.re.kr
저자: 홍성제, 전자부품연구원 마이크로머신 연구센터
저자: 정석원, 전자부품연구원 마이크로머신 연구센터
저자: 조진우, 전자부품연구원 마이크로머신 연구센터
저자: 조남규, 전자부품연구원 마이크로머신 연구센터
출처 국립중앙도서관 바로가기
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001KMO201509136
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24500▼a생명이란 무엇인가? :▼b생명·환경·문화 8월 대 토론회 /▼d주최: 토지문화재단 ;▼e주관: 한국생명윤리학회,▼e토지문화관
260 ▼a원주 :▼b토지문화재단,▼c2001
300 ▼a81 p. ;▼c30 cm
500 ▼a일시 및 장소: 2001년 8월 18일(토) ~ 19일(일), 토지문화관
504 ▼a참고문헌 수록
650 8▼a생명 과학[生命科學]
650 8▼a생명론[生命論]
710 ▼a토지문화재단
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710 ▼a토지문화관
9501 ▼a가격불명
담당부서 : 국가서지과 (02-590-6339)
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